溅射法在YBCO高温超导带材制备中的应用

作者：王醒东超导电缆ybco带材溅射离子束辅助沉积

摘要：高温超导电缆的开发正成为全球的研究热点。钇钡铜氧（YBCO）高温超导涂层导体作为高温超导电缆的载流层材料,各国正对其进行长带化研究。作为典型的真空沉积技术,溅射法在制备YBCO缓冲层材料中发挥了巨大的作用。本文介绍了溅射法的分类,重点介绍了射频溅射、磁控溅射和离子束辅助沉积技术。随着薄膜材料研究的深入,溅射法必将在包括超导在内的材料领域发挥更大的作用。

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