作者:左卫群 成钢颗粒膜微结构磁控溅射
摘要:采用磁控溅射方法制备CoxAg100-x颗粒膜,研究了其巨磁电阻(GMR)效应。结果表明,GMR效应的大小是颗粒膜厚度的函数。在0.9T外磁场下,当玻璃衬底上制备态Co33.8Ag66.2颗粒膜的膜厚为100nm时,其GMR效应值达到最大值(-18.2%),且GMR值随退火温度的上升而单调减小。
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