等离子镀的系统和方法

等离子镀系统室内设置直流信号直流电源射频信号射频发射器真空室

摘要：一个典型等离子镀的系统和方法被公布。该系统包含了一个真空室，真空室内设置了一根细丝，从而可以在细丝上获得沉积物。该系统也包括：在真空室内设置一个固定位置的平台，基体固定在该平台上；直流电源提供直流信号；一个能产生射频信号的射频发射器；一个可以将电偶直流信号和射频信号输送到基体上的导电路径。将电源与细丝联结，使得电流通过细丝时的振幅在细丝上产生热量使金属沉积物熔化。

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