真空镀TiO2薄膜的生产

作者：陈樱; ; 张延垠真空蒸发镀膜to2薄膜制备

摘要：采用ZDL-2051型真空镀膜机，用真空蒸发沉积方法制备环保材料TiO2薄膜，并用扫描电子显微镜（SEM）和X射线能量色散谱仪对其表面形貌及成分分别进行了观察、分析和表征。结果表明，薄膜表面均匀、致密、无裂痕。研究了TiO2薄膜的制备和生产工艺。

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