作者：杜浩明; 肖选; 江晓松; 李斌; 居健集成电路行业气体装置
摘要：如何将集成电路运行过程所需的特种气体纯化、再生,成为了时下阻碍我国集成电路行业发展的难题,基于此,为解决集成电路行业中特种气体纯化、再生问题,设计开发出了 9N 系列气体纯化装置,对其基本构造、工作原理和技术创新进行了分析,并总结了优势和具体应用效果。
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《当代旅游》（CN：23-1508/G）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《当代旅游》立足中国、面向世界，将紧紧围绕旅游业发展的政策、法制建设、行政监管、资源开发、规划建设、经营服务、人才培养等层面，全面展示和宣传旅游行业的不同视角，为旅游学科的理论与实践研究提供平台。
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