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硅晶圆的晶向偏离度测定方法探索

作者:郑捷; 曹孜; 赵而敬; 蔡丽艳; 安瑞阳; 苏...半导体工艺晶圆晶向晶向偏离度

摘要:本文介绍了晶向偏离度的测定方法,阐述了三种不同要求下晶向偏离度的测定方法,并描述了一些可能导致晶向偏离度计算错误或者晶向偏离不一致的情况。

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产业与科技论坛

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