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纳米金刚石薄膜的掺杂与电学性能研究

作者:胡晓君; 刘建军; 徐辉; 陈成克纳米金刚石薄膜掺杂电学性能

摘要:文章综述了作者近年来在纳米金刚石薄膜掺杂和电学性能等方面的研究工作; 阐述了采用离子注入方法及有限热氧化退火处理对纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响, 以及获得的高迁移率n型电导纳米金刚石薄膜.研究结果对于实现纳米金刚石薄膜在电子器件、 电化学电极等领域的应用具有-定的价值.

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超硬材料工程

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