作者：邓联文; 熊惟皓; 江建军; 冯则坤; 何华辉微结构复磁导率
摘要：采用磁控溅射工艺制备了磁损耗型FeCoB-SiO2磁性纳米颗粒膜。利用X射线衍射仪、扫描探针显微镜、透射电子显微镜观测样品的微结构和形貌特征，采用振动样品磁强计、四探针法、微波矢量分析仪及微带短路扫频测量方法测量薄膜试样的磁电性能和微波磁导率。重点分析了SiO2电介质含量、薄膜微结构对样品电磁性能的影响。结果表明，所制备的FeCoB-SiO2纳米颗粒膜具有良好的软磁性能和高频电磁性能，2GHz时复磁导率实部和虚部均高于80，可以应用于抗电磁干扰和微波吸收材料。
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