作者：莫邦燹; 倪学文; 项斌; 朱晖; 宁宝俊; 张...mems电容传感器微硅加速度计开关电容放大器电容测量
摘要：本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了用开关电容技术测量微硅加速度计小电容的方法.
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《测试技术学报》（CN：14-1301/TP）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《测试技术学报》重点报道有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术。
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