作者：朱武; 张佳民; 熊斌; 车录锋; 王跃林放大器解调小信号mems分辨力高频差分电容检测开环增益加速度传感器
摘要：在 MEMS 电容式加速度传感器的测试中, 由于受单放大器开环增益有限的影响, 提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的. 针对这种情况, 本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理, 实验结果表明, 电路可检测的最小差分电容可达到5 aF(5×10-18F).
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