作者：甄恩明 徐雪青 徐刚vo2薄膜软化学法制备热处理温度氧分压
摘要：综述了采用软化学方法制备VO2薄膜的工艺技术特点，以前驱物的划分为主线．着重探讨了前驱物的选择、氧分压和热处理温度等工艺条件对其物相结构与性能的影响，对反应热力学进行了初步的探讨．我们认为，热处理温度和气氛的调节控制是获得单一相热色VO2薄膜的技术关键．
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《材料研究与应用》（CN：44-1638/TG）是一本有较高学术价值的大型季刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《材料研究与应用》主要刊登有色和稀有金属的选矿与冶炼、金属材料与加工、粉末冶金、选冶药剂、分析检测、焊接技术、自动控制、节能技术等学科的学术论文、科研成果、理论探讨、专题性或综合性的动态评述等。
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