硝磷酸腐蚀对CdTe薄膜性能及背接触层的影响

作者：李卫; 冯良桓; 郝瑞英; 陈茜材料合成与加工工艺背接触太阳电池

摘要：采用硝磷酸（NP）背表面刻蚀工艺并结合真空共蒸发法分别沉积了几种背接触层材料,研究了NP腐蚀对CdTe薄膜性能及背接触层的影响．结果表明：NP腐蚀后在CdTe薄膜上产生了富碲层;退火后,碲容易与背接触材料中的铜反应生成CuxTe．通过严格控制和优化腐蚀工艺,选择ZnTe／ZnTe：Cu作为背接触层材料,可制备出优异性能的CdTe太阳电池．

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