作者：金浩; 李德元; 郭策安; 张罡火炮身管磁控溅射crn涂层力学性能
摘要：采用磁控溅射技术在PCrNi3Mo钢表面沉积了CrN涂层。利用激光共聚焦显微镜、扫描电镜（SEM）、纳米压痕仪、X射线衍射仪（XRD）对涂层的形貌、硬度与弹性模量和相结构进行了表征,研究了基体负偏压、溅射电流和N2/Ar流量比对溅射涂层结构和力学性能的影响。结果表明：在基体负偏压为100 V、溅射电流为0.2 A、N2/Ar流量比为1时溅射的CrN涂层质量最佳,其硬度和弹性模量分别为21.38 GPa和272.71 GPa,较PCrNi3Mo钢基体的硬度（5.57 GPa）与弹性模量（258 GPa）明显提高。
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