作者：张国栋; 傅强; 潘春旭超硬薄膜cnx稳定性研究x射线光电子能谱激光拉曼光谱稳定性问题x射线衍射结构和性能耐腐蚀性能复合膜性能变化扫描电镜研究结果内部结构性能降低温度分解力学
摘要：为了研究℃Nx/TiNy复合交替超硬薄膜在不同温度下组织、结构和和性能变化等热稳定性问题,采用扫描电镜、X射线衍射、激光拉曼光谱、X射线光电子能谱等方法进行了系统的表征和测试.研究结果表明:复合膜的转变开始温度为400℃,当温度低于400℃时,复合膜的结构和性能较为稳定,而高于400℃时,复合膜开始发生分解;随着温度的增加,复合膜内部结构发生退化等破坏,导致膜的力学性能降低,但是其耐腐蚀性能得到改善.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
