作者:王英龙 张恒生 褚立志 丁学成 傅广生脉冲激光烧蚀纳米si晶粒平均尺寸环境气体
摘要:采用脉冲激光烧蚀装置,在不同环境气体下,沉积制备了含有纳米Si晶粒的薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)观察样品的表面形貌,并对晶粒尺寸进行统计分析.发现不同环境气体下,纳米Si晶粒平均尺寸均随衬底与靶的距离增加有着先增大后减小的规律;通过分析比较,同等条件下Ne气环境下制备的纳米si晶粒平均尺寸最小。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《材料工程》(CN:11-1800/TB)是一本有较高学术价值的大型工业类刊物,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。
北大期刊、统计源期刊
人气 542435 评论 58
人气 229086 评论 63
省级期刊
人气 186486 评论 72
北大期刊
人气 162396 评论 69