作者:李国荣; 黄永秋; 潘鼎热解炭化学气相沉积沉积机理
摘要:控制CVD工艺条件得到球状热解炭, 通过对沉积中间体的定性分析,证实了此过程中存在'缩聚机理'. 运用热力学和晶体成核-长大理论,解释了温度对热解炭形貌和沉积过程的影响.
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《材料工程》(CN:11-1800/TB)是一本有较高学术价值的大型工业类刊物,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。
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