作者：王璐; 郭杰; 郝瑞亭; 顾康; 刘斌; 王远方...铜锌锡硫硫化锌应力附着性
摘要：采用不同ZnS溅射功率,在钠钙玻璃(SLG)衬底上依次溅射Mo、ZnS、SnS及Cu,退火后制备出Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了溅射功率(50~140W)对ZnS薄膜和CZTS薄膜的微观形貌、微结构以及附着性的影响。结果表明,不同功率溅射的ZnS薄膜为(008)择优取向的纤锌矿六方晶系结构;功率较低时,ZnS薄膜结晶质量较差;随着功率从50 W增加到140 W,ZnS薄膜内的压应力增加了一个数量级;ZnS溅射功率低于80 W或高于110 W时,退火后的CZTS薄膜发生龟裂甚至脱落;ZnS溅射功率在80~110 W时,退火后CZTS薄膜表面均匀平整;110 W溅射后的CZTS薄膜出现较多的孔洞和二次相。采用80 W功率溅射ZnS薄膜制备的CZTS/CdS太阳电池,开路电压达到572 mV,短路电流密度为14.23 mA/cm^2,光电转换效率为3.34%。
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