作者:吕菲; 田原; 宋晶; 杨春颖; 刘雪松锗单晶片化学腐蚀机械强度粗糙度
摘要:锗单晶的机械强度受单晶生长方式和加工工艺等多因素的影响。在衬底片的加工过程中,晶片的强度随加工工艺变化。切割和磨削后的锗单晶片强度都很低,经过化学腐蚀后强度大幅提高,因此化学腐蚀成为影响锗单晶片机械强度的关键工艺。本工作研究了化学腐蚀液的组分、温度、腐蚀方式等对锗抛光片机械强度的影响,有效提高了锗抛光片的机械强度。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《材料导报》(CN:50-1078/TB)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《材料导报》的读者群为从事材料规划、决策的各级领导和管理人员,从事材料研究开发的科研工作者,有关大专院校师生,从事材料生产、应用的工矿企业人员,以及公司领导人员、高新技术开发区领导人员等。
省级期刊
人气 753187 评论 72
人气 484010 评论 71
人气 463131 评论 66
部级期刊
人气 441884 评论 69