多晶硅定向凝固过程中温度对凝固速率的影响

作者：杨金祥; 石爽; 姜大川; 李旭; 李鹏廷; 谭...多晶硅定向凝固温度梯度凝固速率

摘要：多晶硅定向凝固过程中,凝固速率是影响产品品质的重要参数,但却难以直接测量。本研究基于定向凝固过程中的热平衡关系,建立了凝固速率计算模型,研究了温度对凝固速率的影响。结果表明,凝固过程中液固相内温度梯度比值存在规律性的变化趋势,通过该模型获得的凝固速率理论值与实验测量结果吻合度较好,可以为多晶硅定向凝固过程中凝固速率的评估和调控提供支撑。

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