作者：陈明鹏; 张裕敏; 张瑾; 柳清菊金属氧化物btex气敏传感器微结构改性
摘要：金属氧化物半导体传感器因具有体积小、成本低廉、使用方便等优点,越来越受到研究者的关注并被用于有毒有害气体的监测。传感材料是气敏传感器的核心,本文综述了近年来氧化物半导体BTEX气敏传感材料的研究进展,对传感材料的微结构、负载/掺杂改性、气敏性能、气敏机理及存在的问题进行了分析,并探讨了其下一步发展趋势。
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