作者：刘仪柯; 唐雅琴; 蒋良兴; 刘芳洋; 秦勤; ...薄膜太阳电池铜锌锡硫硒溅射预制层硫化硒化退火制度
摘要：采用溅射工艺制备Cu-Zn-Sn金属预制层并尝试在多种退火方案（硫化退火、硒化退火、不同温度下硫化后硒化）下对其进行退火处理,探索出一种只需采用金属预制层即可完成CZTSSe制备的退火工艺制度。通过扫描电镜对比研究了不同退火制度下Cu2ZnSn（SxSe（1-x））4薄膜的形貌差异,发现低温硫化后硒化工艺可以有效减少因硫化温度过高引起的薄膜中孔洞较多的问题,有利于薄膜的平整与致密化。在此基础上,采用X射线荧光光谱、扫描电镜、X射线衍射及拉曼光谱对不同硫化温度（200℃、300℃、400℃、500℃）下硫化后硒化工艺制备的Cu2ZnSn（SxSe（1-x））4薄膜的成分、形貌、物相结构及结晶性能进行了表征和分析。结果表明,300℃下硫化后硒化获得的Cu2ZnSn（SxSe1-x）4较其他温度下硫化后硒化获得的产物有着更好的形貌及结晶性能,其器件的光电转换效率为2.09%,远高于500℃下硫化后硒化工艺所得薄膜器件的效率（0.94%）。
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