作者：陈新亮 王斐 闫聪博 李林娜 林泉 倪牮 张...镀膜技术tco薄膜绒面结构高迁移率缓冲层梯度掺杂薄膜太阳电池
摘要：阐述了玻璃衬底、柔性衬底透明导电氧化物薄膜（Transparent conductive oxides-TCO）以及硅基薄膜太阳电池应用方面的最新研究成果。绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本。磁控溅射技术和LP-MOCVD技术是制造绒面结构ZnO-TCO薄膜（例如“弹坑”状和“类金字塔”状表面）的主流生长技术；高迁移率TCO薄膜（IMO、IWO、ZnO：Ga等）以及柔性衬底TCO薄膜是研究开发的重点。
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