作者：孙伟中 张浚源 赵成利 陈峰 苟富均分子动力学sic溅射角度分布
摘要：采用分子动力学模拟方法研究了入射角度对Ar＋与SiC样品表面相互作用的影响。由模拟结果可知，入射角度对样品原子溅射影响很大。随着入射角度的增大，Si原子和C原子的溅射量先增加后减小。相同入射角度下，Si原子的溅射阂值比C原子的小，Si原子的溅射量大于C原子的溅射量。初始样品在A，以不同角度轰击2000次后的形貌各异。产物中主要以si原子和c原子为主，有少量的si类和c类产物。入射角度对产物si原子的角度分布几乎没有影响，而对产物C原子的角度分布有较小的影响。
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