作者：夏庆锋; 杨德仁; 马向阳; 阙端麟缺陷soi材料表征simox
摘要：简述了利用注氧隔离法（SIMOX）制备的SOI材料中产生的一些不同于体硅材料的特殊缺陷,涉及表面缺陷、Si/SiO2界面缺陷和埋氧层缺陷,包括这些缺陷的产生机制、表征方法以及一些降低和消除措施。
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