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特色功能材料——透明导电氧化物薄膜

作者:王华透明导电氧化物功能材料光电特性制备方法进展透明导电氧化物薄膜太阳能光伏电池半导体特性平板显示器件真空电子器件

摘要:透明导电氧化物(TCO)是一种特色鲜明的功能材料,以其接近金属的电导率、可见光高透射率、红外区高反射率及其它半导体特性,可应用于平板显示器件、太阳能光伏电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层以及光电子、微电子、真空电子器件等领域.综述了透明导电氧化物薄膜的基本特性、制备方法及应用,并展望了其发展前景.

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材料导报

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