作者：崔昊杨; 李宏建; 谢自芳; 赵楚军; 彭景翠多孔硅传感器制备方法敏感特性电导率介电常数
摘要：综述了几种常见的多孔硅传感器的制备方法与敏感特性,并着重对气敏、湿敏、生物敏多孔硅传感器的传感机理做了详细的介绍,论述了多孔硅传感器研究的新动向,展望了它的未来发展.
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