作者：黄凯旋; 陈涵洽轴向磁场电弧离子镀硬度耐磨性
摘要：外部磁场对电弧等离子及膜结构影响明显,而目前关于磁场强度对离子镀TiN/Cu膜的力学及摩擦磨损性能影响的研究不多。以轴向磁场增强电弧离子镀方法在内燃机用高温Ti600合金表面沉积TiN/Cu膜,分析了不同轴向磁场强度下所得TiN/Cu膜的微观结构、化学组成、力学特性。结果表明:TiN/Cu膜表面生成了很多尺寸较大的颗粒,磁场强度增大后,颗粒数量减少,而溅射坑数量上升,粗糙度表现为先降低后上升;当磁场强度升高后,膜中的Cu含量上升,TiN/Cu膜硬度与弹性模量均先增大后下降;磁场强度上升后,膜摩擦系数并未发生明显变化,膜磨损率先降低后上升。
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