作者：蒲逸然; 谢建良; 王昕热分析微机电系统有限元纳米量热技术热损耗热容
摘要：通过对微机电系统(MEMS)纳米量热传感器原理与热损耗机理分析,借助有限元分析(FEA)软件研究不同结构、材料种类的基底对纳米量热传感器热分布、功耗的影响,并通过对纳米量热信号的仿真,验证了器件的可行性,进而依据仿真结果对纳米量热传感器的性能进行优化。研究可以为其他不同类型的量热器件的仿真与设计提供参考依据。
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