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基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定

作者:胡梦飞; 刘亚伟; 杨露露; 谷永先; 胡国俊...微机电系统技术流体传热式matlab软件标定

摘要:设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量。

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传感器与微系统

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