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用于钢筋锈蚀监测的声表面波电容传感器

作者:朱玺峰; 谢立强; 邢建春; 王添仙表面声波耦合模电容传感器钢筋腐蚀

摘要:针对混凝土内钢筋锈蚀监测的难题,提出了一种用于钢筋监测的声表面波(SAW)电容传感器,传感器由SAW延迟线和平板电容器组成,平板电容器的两个电极布设在钢筋周围并与SAW延迟线的反射栅相连,钢筋锈蚀引起反射栅与平板电容器之间的阻抗变化,通过检测回波信号的振幅和相位变化实现钢筋锈蚀感测。利用耦合模(COM)理论分析中心频率为184MHz的SAW延迟线器件性能,确定其结构参数;采用剥离工艺制作SAW延迟线器件,搭建传感器监测系统;通过网络分析仪测试回波信号的振幅和相位变化,对比分析测试结果与仿真结果说明了COM分析的正确性,验证了SAW电容传感器的可行性。传感器回波振幅相对于钢筋锈蚀厚度的灵敏度为0. 73 d B/mm,非线性误差为0. 35%;回波相位相对于钢筋锈蚀厚度的灵敏度6. 24°/mm,非线性误差为1. 04%。

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传感器与微系统

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