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面向磁阻传感器的低噪声磁滞补偿系统

作者:孙琨; 潘孟春; 胡靖华; 胡佳飞; 杜青法; ...磁阻传感器磁滞补偿低噪声

摘要:小型巨磁阻/隧穿磁电阻(GMR/TMR)磁传感器在弱磁信号的高分辨率测量中扮演重要角色。针对小型GMR/TMR磁传感器输出响应存在磁滞现象,影响探测精度的问题,提出了一种基于数字信号处理器(DSP)控制低噪声电流源进行磁滞补偿的方案:基于DSP平台控制高稳定电流源产生补偿电流,并通过磁补偿线圈产生补偿磁场,使得GMR/TMR敏感体处产生恒定磁场,实现对磁敏感体磁滞均方根误差抑制;通过低噪声电流源设计,降低电流补偿导致系统引入的额外噪声。实验结果表明:搭建的高精密电流源的均方根误差(RMSE)为(3~5)×10^-6,通过对GMR/TMR磁传感器补偿,磁滞降低了90%,同时仅仅产生250 p T的噪声。

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传感器与微系统

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