作者：吴佐飞; 尹延昭; 田雷; 王永刚压阻效应微压传感器绝缘体上硅
摘要：基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行了工艺验证。验证结果表明：所设计的微压芯片灵敏度达到了24 mV/kPa,非线性优于0.2%FS。
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