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磁方位修正MEMS矢量水声传感器研制

作者:宫占江; 李金平; 毕佳宇; 孙立凯微机电系统磁方位修正矢量水声传感器水声探测

摘要:介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子,并与信号处理电路紧靠方式设计,可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术,对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正,解决了单个矢量水声传感器定向精度不高问题。传感器完成了国家一级计量站标定和磁方位误差修正测试,测试结果验证了定向方法的可行性,矢量水声传感器可实现水下目标探测、定位及导航等任务。

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传感器与微系统

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