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ZrO2氧传感器封接料开裂失效分析及改进

作者:刘智敏; 秦浩; 王洋洋; 周明军; 郝玉芳极限电流氧气传感器失效机理

摘要:针对氧化锆(ZrO2)氧传感器封接料失效机理,提出了在传感器加热电路上增加预热功能,通过仿真和试验的方法验证了改进措施的有效性。仿真分析的结果表明:温度变化幅度为200℃时应力状态较温度变化400℃时的应力降低幅度约为40%。通过试验样件验证表明,传感器在进行了576次启动热应力试验后,封接料状态良好,未开裂,表明加热电路增加预热功能后降低了热应力冲击强度,增加预热电路后,传感器有效避免了使用中出现封接料开裂故障。

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传感器与微系统

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