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热蒸发石墨烯基SnOx-Sn传感器气敏性研究

作者:王玮; 高在青; 蒋烨; 杨宗耀; 谢海芬石墨烯热蒸发甲醛二氧化氮气体传感器

摘要:通过化学气相沉积法制备石墨烯并采用热蒸发法在石墨烯上沉积锡(Sn)及其氧化物,得到石墨烯基SnOx-Sn气敏传感器,研究其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO2)气体的气敏性及SnOx-Sn膜厚和基底加热温度对传感器气敏性的影响。通过场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)等表征手段研究了石墨烯基SnOx-Sn气敏传感器的形态结构。

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传感器与微系统

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