作者：庄亚政; 齐景超; 陈小娟调焦调平扫描反射镜调制纳米级测量三角测量原理
摘要：针对投影光刻的特点,研究了一种基于扫描反射镜调制和三角测量原理的调焦调平系统。该系统遵循向甫鲁(SC)成像条件,并通过检测投影光斑相对于探测狭缝的位移量衡量硅片面的离焦量。同时,利用扫描反射镜的光学载波调制,提高系统的抗干扰能力。实验结果表明:系统拥有纳米(nm)级的测量精度,且具有采样频率高、非接触、多光斑布局方便等特点。
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