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新型辉光放电装置设计与关键参数研究

作者:程明; 俞建成; 张俊良; 吴焕铭辉光放电等离子体放电功率能量密度

摘要:基于针—网放电结构,设计了一种新型的辉光放电装置,并研究了放电针数量、针间距、放电间距和载气流速等因素对放电稳定性、起辉电压、放电功率及放电能量密度的影响。实验表明:载气流可带走放电产生的不均匀热量,使得放电更加稳定;电极间距越小,起辉电压越低,越容易向火花放电过渡;针间距越大,单针的放电功率也越大。放电能量密度不仅受针间距的影响,还受到放电针数量的影响。

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传感器与微系统

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