作者：张缓缓 刘彬 金庆辉 刘咏松微机电系统技术集成微电极水质监测
摘要：研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器，并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上，用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好，满足温度测量精度的需求；比较法确定电导率传感器的电极常数为2．723，可以对一般水体的电导率进行测定；氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0．99733接近于理论值，表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。
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