作者：崔光浩 邹向光 秦占胜绝压传感器焊接真空密封腔
摘要：高温绝对压力传感器需要形成耐高温的真空密封腔。对实现真空封装过程中陶瓷／钛合金焊接技术进行了研究，焊接过程中由于存在焊接应力，容易发生陶瓷碎裂情况，通过设计焊接尺寸、选择金属化材料、设计降温过程、试验设计工艺参数，实现了较高要求的真空封装，并对焊接后的试验件进行了试验分析，结果表明：焊接强度和密封腔体的漏率满足实际产品应用要求。
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