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激光三角法测量热辐射板厚度时光源的选择

作者:阳鑫 刘铁根 宋殿友 李宝强激光三角法位置敏感探测器热辐射板光源选择

摘要:从位置敏感探测器(PSD)的工作原理出发,讨论了信噪比对系统测量精度的影响,在此基础上,研究了采用激光三角法测量热辐射板厚度时光源的选择问题,模拟热辐射板搭建实验装置,实验结果表明:红外干扰对厚度测量有很大的影响,同时,证明了选用红光激光器比选用绿光激光器更有利于提高测量精度。

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传感器与微系统

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