作者:温佰仟 刘建业 李荣冰微电子机械系统陀螺正交误差机械耦合平均化分析方法
摘要:针对MEMS陀螺由于机械耦合引起的正交误差,建立了包含误差的MEMS陀螺动力学方程,在开环检测和闭环检测情况下,分别对正交误差进行了分析,并通过相关检测技术抑制正交误差对陀螺性能的影响,提取出角速度信息。运用Simulink对陀螺进行了建模仿真,仿真结果表明:在开环检测和闭环检测情况下都能够有效消除正交误差的影响,由此验证了理论分析的正确性。
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