作者：滕舵 陈航 朱宁 杨虎 诸国磊传感器压电陶瓷超声等效网络有限元
摘要：超声传感器是一种电声转换器件，其敏感元件压电陶瓷控制传感器的主要性能。设计了一种谐振频率为140kHz的Tonpilz型压电陶瓷超声传感器，从压电方程入手，建立了不同的理论模型，对等效网络法和有限元法2种不同的设计方法进行了比较。相应的试验表明：有限元法的分析结果直观明了、建模快捷、分析准确，其误差可控制在5％以内。设计研制的Tonpilz型传感器工艺简单、造价低廉、性能稳定。
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