作者：倪受东; 吴洪涛; 嵇海平; 朱剑英微型半球陀螺仪量测误差非线性效应热漂移结构误差
摘要：讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源，主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
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