芯片生产线自主研发溅射膜压敏金属传感器核心部件mems
摘要：2019 年1月16日,湖南启泰传感科技有限公司宣布,经过十年持续研发,我国首条自主研发的金属溅射膜压敏芯片生产线在浏阳高新区成功通线。芯片是传感器最核心部件,中国一直是高端传感器的进口大国,其中MEMS传感压敏芯片的自给率仅0.5 %。
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