发明人红外吸收颗粒结构专利集成方法传感器件纳米颗粒红外传感
摘要：一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法申请号：201710032686．6【公开号】CN106698323A【公开日】2017．05．24【分类弓】B8187／02；B81C1／00；H01L31／0203；H01L31／09【申请日】2017．01．16【申请人】北京芯创睿胜科技有限公司【发明人】赵柱；毛海央【摘要】本发明涉及一种红外吸收结构及集成方法，尤其是一种基于烛灰纳米颗粒结构的红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法，属于红外传感探测的技术领域。红外吸收结构，包括衬底以及设置于衬底上的烛灰纳米颗粒结构层。
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