中国电子科技集团公司mems器件北美研发系统主任标准设计结构设计
摘要：河北美泰电子科技有限公司依托中国电子科技集团公司第十三研究所，是国内最早做Mebs产品的企业之一。不久前，该企业刚刚投入使用一座全新厂房，是目前国内体量最大、功能最全的、而且是唯一做Mebs惯性方向的厂房，其最大优势在于六英寸Mebs生产线。从Mebs结构设计，到Mebs加工制造，再到电路设计，整个封装，以及标定测试，都可以在这个厂房里实现闭环。每个月有三到五千片晶圆的产能。这条生产线是按照军品的高端标准设计的，因此完全可以满足和覆盖民品的标准。
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