发明氢气传感器光子晶体专利透射系数入射角度二氧化钛石英衬底
摘要：【摘要】本发明公开一种角度依赖的光子晶体氢气传感在石英衬底上制备二氧化钛光子晶体，周期可调，在光子晶体两个侧面分别生长钯基合金薄膜，厚度可调，激光光束准直后以－固定角度（通常为光子晶体共振角度）入射到光子晶体上，此时的透射系数为0％，钯吸附氢气后体积会发生膨胀，从而拉伸光子晶体，使其周期变长，共振角度向大角度方向移动，入射角度位置的透射系数可以变化到70％以上，与传统反射式氢气传感器相比，灵敏度可以提高2～3个数量级。
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