纳米加工世界纪录分辨率激光国际领先水平微加工系统纳米光子学化学研究所
摘要:中科院物理化学研究所自主研发的具有国际水平的“纳米光子学超细微加工系统”近期取得了一系列重要研究成果,其中在纳米加工分辨率研究方面,实现了线宽为50nm的加工分辨率,并制备出直径为18nm的悬空纳米线,创造了激光纳米加工分辨率的最新“世界记录”。研究水平已处于同类研究的国际领先水平,引起了国内外关注,国内外多家研究组表达了合作意向。
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