光开关moems研制成功上海光学精密机械研究所阵列阻塞微光电子机械系统上海交通大学微纳米技术光学实验室中国科学院计划项目研究院
摘要：“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家“863”计划项目。
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