光开关moems研制成功上海光学精密机械研究所阵列阻塞微光电子机械系统上海交通大学微纳米技术光学实验室项目验收专家组研究院
摘要:近日,国家“863”专家组在北京主持召开了“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目验收会,该项目是由上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的。
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